KIT | KIT-Bibliothek | Impressum | Datenschutz

MEMS structure technologies. Past, present and future of LIGA

Bacher, W.; Saile, V.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2009
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230077320
HGF-Programm 43.01.03 (POF II, LK 01)
Erscheinungsvermerk 3rd Internat.Conf.of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology (ASPEN 2009), Kitakyushu, J, November 11-13, 2009
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft KITopen Landing Page