MEMS structure technologies. Past, present and future of LIGA
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2009 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230077320 |
| HGF-Programm | 43.01.03 (POF II, LK 01) Replikation |
| Erscheinungsvermerk | 3rd Internat.Conf.of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology (ASPEN 2009), Kitakyushu, J, November 11-13, 2009 |