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Micromachining and integration of Ni-Mn-Ga film actuators for microsystems applications (C1)

Yeduru, S.R.; Kohl, M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2009
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230077806
HGF-Programm 43.01.06 (POF II, LK 01)
Erscheinungsvermerk Workshop des DFG-Schwerpunktprogramms 1239 'Änderung von Mikrostruktur und Form fester Werkstoffe durch äußere Magnetfelder', Kiel, 6.-10.Oktober 2009
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