LIGA nickel composites for high temperature MEMS applications
Suresha, S. J.; Haj-Taieb, M.; Bade, K.
; Aktaa, J.; Hemker, K. J.
; Aktaa, J.; Hemker, K. J.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung - Werkstoff- und Biomechanik (IMF2) (IMF2) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2009 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230078129 |
| HGF-Programm | 43.01.03 (POF II, LK 01) Replikation |
| Erscheinungsvermerk | Materials Research Society Fall Meeting, Boston, Mass., November 30 - December 4, 2009 |