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LIGA nickel composites for high temperature MEMS applications

Suresha, S.J.; Haj-Taieb, M.; Bade, K.; Aktaa, J.; Hemker, K.J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung - Werkstoff- und Biomechanik (IMF2) (IMF2)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2009
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230078129
HGF-Programm 43.01.03; LK 01
Erscheinungsvermerk Materials Research Society Fall Meeting, Boston, Mass., November 30 - December 4, 2009
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