| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2009 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230078130 |
| HGF-Programm | 43.04.04 (POF II, LK 01) Photonische Systeme |
| Erscheinungsvermerk | 35th Internat.Conf.on Micro & Nano Engineering (MNE 09), Gent, B, September 28 - October 1, 2009 |