X-ray diffraction imaging of dislocation generation related to microcracks in Si-wafers

Wittge, J.; Danilewsky, A. N.; Allen, D.; McNally, P. J.; Li, Z.; Baumbach, T.; Gorostegui-Colinas, E.; Garagorri, J.; Elizalde, M. R.; Jacques, D.; Fossati, M.; Bowen, K.; Tanner, B.

X-ray diffraction imaging of dislocation generation related to microcracks in Si-wafers

Wittge, J.; Danilewsky, A. N.; Allen, D.; McNally, P. J.; Li, Z.; Baumbach, T.; Gorostegui-Colinas, E.; Garagorri, J.; Elizalde, M. R.; Jacques, D.; Fossati, M.; Bowen, K.; Tanner, B.

Export

Statistiken

Seitenaufrufe: 15
seit 11.03.2019

Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Synchrotronstrahlung (ISS)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	2009
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 230078192
HGF-Programm	55.51.20 (POF II, LK 02) Infrastr.u.Betrieb ANKA-Beschleunigeranl
Erscheinungsvermerk	58th Annual Conf.on Applications of X-ray Analysis : Denver X-ray Conf., Colorado Springs, Colo., July 27-31, 2009

Repository KITopen

X-ray diffraction imaging of dislocation generation related to microcracks in Si-wafers