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X-ray diffraction imaging of dislocation generation related to microcracks in Si-wafers

Wittge, J.; Danilewsky, A.N.; Allen, D.; McNally, P.J.; Li, Z.; Baumbach, T.; Gorostegui-Colinas, E.; Garagorri, J.; Elizalde, M.R.; Jacques, D.; Fossati, M.; Bowen, K.; Tanner, B.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Synchrotronstrahlung (ISS)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2009
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230078192
HGF-Programm 55.51.20 (POF II, LK 02)
Erscheinungsvermerk 58th Annual Conf.on Applications of X-ray Analysis : Denver X-ray Conf., Colorado Springs, Colo., July 27-31, 2009
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