Analysis of micro defects and dislocations in silicon wafer by X-ray rocking curve imaging

Li, Z. J.; Helfen, L.; Danilewsky, A. N.; Mikulik, P.; Fossati, M.; Xu, F.; Reis, P.; Altapova, V.; Haenschke, D.; Buth, G.; Baumbach, T.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Synchrotronstrahlung (ISS)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	2009
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 230078197
HGF-Programm	55.51.20 (POF II, LK 02) Infrastr.u.Betrieb ANKA-Beschleunigeranl
Erscheinungsvermerk	17. Jahrestagung der Deutschen Gesellschaft für Kristallographie (DGK), Hannover, 9.-12.März 2009