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Analysis of micro defects and dislocations in silicon wafer by X-ray rocking curve imaging

Li, Z.J.; Helfen, L.; Danilewsky, A.N.; Mikulik, P.; Fossati, M.; Xu, F.; Reis, P.; Altapova, V.; Haenschke, D.; Buth, G.; Baumbach, T.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Synchrotronstrahlung (ISS)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2009
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230078197
HGF-Programm 55.51.20 (POF II, LK 02)
Erscheinungsvermerk 17. Jahrestagung der Deutschen Gesellschaft für Kristallographie (DGK), Hannover, 9.-12.März 2009
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