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Einfluss des CH₄-Anteils im Sputtergas auf die Mikrostruktur und die tribologischen Eigenschaften von V-C-Al-N-Schichten hergestellt durch Sputtern von einem segmentierten Target

Ziebert, C.; Stüber, M.; Ulrich, S.



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seit 11.03.2019
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung - Angewandte Werkstoffphysik (IMF1) (IMF1)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2009
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 230078257
HGF-Programm 43.03.06 (POF II, LK 01)
Erscheinungsvermerk 2.Statuskolloquium des BMBF Projektes IMAUF 'Innovative Methoden zur Auslegung von Umformwerkzeugen im Fahrzeugbau', Karlsruhe, 13.Mai 2009
Externe Relationen Abstract/Volltext
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