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Gas-wall interactions of rarefied gases in MEMS: a new experimental device with integrated sensors

Vittoriosi, A.; Brandner, J.J.; Dittmeyer, R.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikroverfahrenstechnik (IMVT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2010
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230078510
HGF-Programm 43.01.07 (POF II, LK 01)
Erscheinungsvermerk ASME 8th Internat.Conf.on Nanochannels, Microchannels and Minichannels (ICNMM10), Montreal, CDN, August 1-4, 2010
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