Gas-wall interactions of rarefied gases in MEMS: a new experimental device with integrated sensors
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikroverfahrenstechnik (IMVT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2010 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230078510 |
| HGF-Programm | 43.01.07 (POF II, LK 01) Mikroverfahrenstechnische Systeme |
| Erscheinungsvermerk | ASME 8th Internat.Conf.on Nanochannels, Microchannels and Minichannels (ICNMM10), Montreal, CDN, August 1-4, 2010 |