Positioning, structuring and controlling with nanoprecision

Hedderich, R.; Heiler, T.; Gröger, R.; Schimmel, T.; Walheim, S.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Nanotechnologie (INT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	2010
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 230078585
HGF-Programm	43.98.02 (POF II, LK 01) Networks and industrial contacts
Erscheinungsvermerk	5th Internat.Precision Assembly Seminar (IPAS 2010), Chamonix, F, February 14-17, 2010