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Integrated sensors in MEMS: Characterization of roughness effects for rarefied gas flows

Vittoriosi, A.; Brandner, J.J.; Dittmeyer, R.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikroverfahrenstechnik (IMVT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2010
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230079033
HGF-Programm 43.13.03; LK 01
Erscheinungsvermerk 2nd GASMEMS Summer School and Workshop, Les Embiez, F, July 5-10, 2010
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