Integrated sensors in MEMS: Characterization of roughness effects for rarefied gas flows
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikroverfahrenstechnik (IMVT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2010 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230079033 |
| HGF-Programm | 43.13.03 (POF II, LK 01) Micro chemical engineering |
| Erscheinungsvermerk | 2nd GASMEMS Summer School and Workshop, Les Embiez, F, July 5-10, 2010 |