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Polymer-Keramik-Komposite mit hoher Dielektrizitätskonstante für Anwendungen in der Mikrosystemtechnik

Hanemann, T.; Schumacher, B.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung - Werkstoffprozesstechnik (IMF3) (IMF3)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2010
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 230079121
HGF-Programm 43.13.02; LK 01
Erscheinungsvermerk Technologien und Werkstoffe der Mikrosystem- und Nanotechnik : 2.GMM Workshop, Darmstadt, 10.-11.Mai 2010
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