Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Vortrag |
Publikationsjahr | 2010 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | KITopen-ID: 230079252 |
HGF-Programm | 43.01.06 (POF II, LK 01) Applikations-u.Transferlaboratorien |
Erscheinungsvermerk | Technologien und Werkstoffe der Mikrosystem- und Nanotechnik : 2.GMM Workshop, Darmstadt, 10.-11.Mai 2010 |