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High rate carbon deposition using HIPIMS arc mixed mode

Lattemann, M.; McKenzie, D.R.; Bilek, M.M.M.; McCulloch, D.G.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Nanotechnologie (INT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2010
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230080708
HGF-Programm 43.12.01; LK 01
Erscheinungsvermerk 12th Internat.Conf.on Plasma Surface Engineering (PSE 2010), Garmisch- Partenkirchen, September 13-17, 2010
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