High rate carbon deposition using HIPIMS arc mixed mode

Lattemann, M.; McKenzie, D. R.; Bilek, M. M. M.; McCulloch, D. G.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Nanotechnologie (INT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	2010
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 230080708
HGF-Programm	43.12.01 (POF II, LK 01) Tailored properties of nanomaterials
Erscheinungsvermerk	12th Internat.Conf.on Plasma Surface Engineering (PSE 2010), Garmisch- Partenkirchen, September 13-17, 2010