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New research infrastructures for nano and micro technologies

Saile, V.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2010
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230080818
HGF-Programm 43.16.01 (POF II, LK 02)
Erscheinungsvermerk 2nd ANKA/KNMF Joint Users Meeting, Karlsruhe, October 7-8, 2010
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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