RIE/ICP-RIBE cluster opening
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2010 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230080823 |
| HGF-Programm | 43.16.01 (POF II, LK 02) KNMF laboratory for micro a.nanostruct. |
| Erscheinungsvermerk | 2nd ANKA/KNMF Joint Users Meeting, Karlsruhe, October 7-8, 2010 |