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Replication techniques for the mass production of micro components

Piotter, V.; Kadel, K.; Kanoko, Y.; Mueller, C.; Plewa, K.; Worgull, M.; Zhang, S.X.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung - Werkstoffprozesstechnik (IMF3) (IMF3)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2010
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230081181
HGF-Programm 43.13.02; LK 01
Erscheinungsvermerk Embedded Functionality Conf., Suzhou, China, December 8-9, 2010
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