Replication techniques for the mass production of micro components

Piotter, V.; Kadel, K.; Kanoko, Y.; Mueller, C.; Plewa, K.; Worgull, M.; Zhang, S. X.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Materialforschung - Werkstoffprozesstechnik (IMF3) (IMF3) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	2010
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 230081181
HGF-Programm	43.13.02 (POF II, LK 01) Replication
Erscheinungsvermerk	Embedded Functionality Conf., Suzhou, China, December 8-9, 2010