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Experimental design with integrated temperature sensor in MEMS: an example of application for rarefied gases

Vittoriosi, A.; Brandner, J.J.; Dittmeyer, R.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikroverfahrenstechnik (IMVT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2011
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230082281
HGF-Programm 43.13.03; LK 01
Erscheinungsvermerk 3rd Micro and Nano Flows Conf., Thessaloniki, GR, August 22-24, 2011
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