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Integrated measuring system for the thermal characterization of gas flows in MEMS under slip-flow regime

Vittoriosi, A.; Brandner, J.J.; Dittmeyer, R.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikroverfahrenstechnik (IMVT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2011
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230082289
HGF-Programm 43.13.03; LK 01
Erscheinungsvermerk 64th IUVSTA Workshop on Practical Applications and Methods of Gas Dynamics for Vacuum Science and Technology, Leinsweiler, May 16-19, 2011
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