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Significant stress reduction of cBN layers upon ion irradiation at elevated temperatures

Weidner, S.; Geburt, S.; Ye, J.; Ulrich, S.; Ronning, C.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Materialien - Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2011
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230082878
HGF-Programm 43.12.01; LK 01
Erscheinungsvermerk Frühjahrstagung DPG, Fachverband Dünne Schichten, Dresden, 13.-18.März 2011 Verhandlungen der Deutschen Physikalischen Gesellschaft, R.6, B.46(2011) DS 42.83
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