KIT | KIT-Bibliothek | Impressum | Datenschutz

Energieströme in einer HF-Magnetonquelle zur Abscheidung superharter c-BN Schichten

Bornholdt, S.; Ye, J.; Ulrich, S.; Kersten, H.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Materialien - Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2011
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 230083021
HGF-Programm 43.12.01 (POF II, LK 01)
Erscheinungsvermerk Frühjahrstagung DPG, Fachverband Plasmaphysik, Kiel, 28.-31.März 2011 Verhandlungen der Deutschen Physikalischen Gesellschaft, R.6, B.46(2011).3
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft KITopen Landing Page