Energieströme in einer HF-Magnetonquelle zur Abscheidung superharter c-BN Schichten
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Materialien – Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2011 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230083021 |
| HGF-Programm | 43.12.01 (POF II, LK 01) Tailored properties of nanomaterials |
| Erscheinungsvermerk | Frühjahrstagung DPG, Fachverband Plasmaphysik, Kiel, 28.-31.März 2011 Verhandlungen der Deutschen Physikalischen Gesellschaft, R.6, B.46(2011).3 |