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Fabrication of gratings with extreme aspect rations for X-ray phase contrast

Grund, T.; Kenntner, J.; Simon, M.; Meiser, J.; Matthis, B.; Straus, C.; Last, A.; Mohr, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2011
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230083362
HGF-Programm 43.14.02; LK 01
Erscheinungsvermerk 9th Internat.Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology (HARMST 2011), Hsinchu, Taiwan, June 12-18, 2011
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