Potential and limits of the LIGA-process for mold insert fabrication
Heneka, J.; Engel, M.; Guttmann, M.
; Hanemann, T.; Plewa, K.; Saile, V.
; Hanemann, T.; Plewa, K.; Saile, V.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Materialien - Werkstoffprozesstechnik (IAM-WPT) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2011 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230083386 |
| HGF-Programm | 43.13.02 (POF II, LK 01) Replication |
| Erscheinungsvermerk | Micro Mechanical System Design and Manufacture : PhD Sumer School, Copenhagen, DK, June 20 - July 1, 2011 |