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Potential and limits of the LIGA-process for mold insert fabrication

Heneka, J.; Engel, M.; Guttmann, M.; Hanemann, T.; Plewa, K.; Saile, V.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Institut für Angewandte Materialien - Werkstoffprozesstechnik (IAM-WPT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2011
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230083386
HGF-Programm 43.13.02; LK 01
Erscheinungsvermerk Micro Mechanical System Design and Manufacture : PhD Sumer School, Copenhagen, DK, June 20 - July 1, 2011
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