Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Materialien - Werkstoffprozesstechnik (IAM-WPT) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Vortrag |
Publikationsjahr | 2011 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 230083386 |
HGF-Programm | 43.13.02 (POF II, LK 01) Replication |
Erscheinungsvermerk | Micro Mechanical System Design and Manufacture : PhD Sumer School, Copenhagen, DK, June 20 - July 1, 2011 |