Potential and limits of the LIGA-process for mold insert fabrication

Heneka, J.; Engel, M.; Guttmann, M.; Hanemann, T.; Plewa, K.; Saile, V.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Angewandte Materialien - Werkstoffprozesstechnik (IAM-WPT) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	2011
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 230083386
HGF-Programm	43.13.02 (POF II, LK 01) Replication
Erscheinungsvermerk	Micro Mechanical System Design and Manufacture : PhD Sumer School, Copenhagen, DK, June 20 - July 1, 2011