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Approach to high-temperature-material microcomponents manufactured by the LIGA process using co-deposition of nano particles

Bade, K.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2011
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230084321
HGF-Programm 43.13.01; LK 01
Erscheinungsvermerk Kick-Off Forum, Research Center for Nano-Micro Structure, University of Hyogo, Himeji, J, September 9, 2011
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