Approach to high-temperature-material microcomponents manufactured by the LIGA process using co-deposition of nano particles
Bade, K.
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2011 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230084321 |
| HGF-Programm | 43.13.01 (POF II, LK 01) Structuring |
| Erscheinungsvermerk | Kick-Off Forum, Research Center for Nano-Micro Structure, University of Hyogo, Himeji, J, September 9, 2011 |