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Synthesis of Al-Cr-O and Al-Cr-O-N thin films in corundum-type structure by reactive r.f. magnetron sputtering

Stüber, M.; Diechle, D.; Leiste, H.; Ulrich, S.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Materialien - Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2011
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230085075
HGF-Programm 43.12.01 (POF II, LK 01)
Erscheinungsvermerk American Vacuum Society 58th Internat.Symp.and Exhibition, Nashville, Tenn., October 30 - November 4, 2011 Book of Abstracts
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