Synthesis of Al-Cr-O and Al-Cr-O-N thin films in corundum-type structure by reactive r.f. magnetron sputtering
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Materialien – Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2011 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230085075 |
| HGF-Programm | 43.12.01 (POF II, LK 01) Tailored properties of nanomaterials |
| Erscheinungsvermerk | American Vacuum Society 58th Internat.Symp.and Exhibition, Nashville, Tenn., October 30 - November 4, 2011 Book of Abstracts |