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Approach to high-temperature-material microcomponents manufactured by the LIGA process using co-deposition of nano particles

Bade, K.; Teutsch, M.; Hermker, K.J.; Aktaa, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Institut für Angewandte Materialien - Werkstoff- und Biomechanik (IAM-WBM)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2011
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230085147
HGF-Programm 43.13.01; LK 01
Erscheinungsvermerk 9th Internat.Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology (HARMST 2011), Hsinchu, Taiwan, June 12-18, 2011
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