Approach to high-temperature-material microcomponents manufactured by the LIGA process using co-deposition of nano particles
Bade, K.
; Teutsch, M.; Hermker, K. J.; Aktaa, J.
; Teutsch, M.; Hermker, K. J.; Aktaa, J.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Materialien - Werkstoff- und Biomechanik (IAM-WBM) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2011 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230085147 |
| HGF-Programm | 43.13.01 (POF II, LK 01) Structuring |
| Erscheinungsvermerk | 9th Internat.Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology (HARMST 2011), Hsinchu, Taiwan, June 12-18, 2011 |