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Mikrosensorsystem auf Basis paralleler integriert-optischer Mach-Zehnder-Interferometer in neuartigem Polymer

Sieber, H.; Boehm, H. J.; Schüle, S.; Hollenbach, U.; Mohr, J.; Ostrzinski, U.; Pfeiffer, K.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen)
Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 2011
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 230085148
HGF-Programm 43.14.03 (POF II, LK 01) System integration
Veranstaltung MikroSystemTechnik Kongress (2011), Darmstadt, Deutschland, 10.10.2011 – 12.10.2011
Erscheinungsvermerk Mikrosystemtechnik-Kongress, Darmstadt, 10.-12.Oktober 2011
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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