Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Vortrag |
Publikationsjahr | 2011 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | KITopen-ID: 230085299 |
HGF-Programm | 43.13.01 (POF II, LK 01) Structuring |
Erscheinungsvermerk | ZVO Oberflächentage 2011, Düsseldorf/Neuss, 21.-23.September 2011 |