| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2011 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230085299 |
| HGF-Programm | 43.13.01 (POF II, LK 01) Structuring |
| Erscheinungsvermerk | ZVO Oberflächentage 2011, Düsseldorf/Neuss, 21.-23.September 2011 |