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Impact of nitrogen on phase formation, microstructure and properties of reactively r.f. magnetron sputtered Cr-Zr-O-N thin films

Spitz, S.; Stüber, M.; Leiste, H.; Ulrich, S.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Materialien – Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 2012
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230086858
HGF-Programm 43.12.01 (POF II, LK 01) Tailored properties of nanomaterials
Erscheinungsvermerk Spring Meeting of the European Materials Research Society, Strasbourg, F, May 14-18, 2012
Externe Relationen Abstract/Volltext
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