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Impact of nitrogen on phase formation, microstructure and properties of reactively r.f. magnetron sputtered Cr-Zr-O-N thin films

Spitz, S.; Stüber, M.; Leiste, H.; Ulrich, S.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Materialien - Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2012
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230086858
HGF-Programm 43.12.01; LK 01
Erscheinungsvermerk Spring Meeting of the European Materials Research Society, Strasbourg, F, May 14-18, 2012
URLs Abstract (HTML)
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