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Composition and microstructure of r.f. magnetron sputter-deposited Cr-Zr-O thin films

Spitz, S.; Stüber, M.; Leiste, H.; Ulrich, S.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Materialien - Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2012
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230086939
HGF-Programm 43.12.01; LK 01
Erscheinungsvermerk 76. Jahrestagung der DPG und DPG-Frühjahrstagung, Fachverband Dünne Schichten, Berlin, D, 25.-30. März 2012 Verhandlungen der Deutschen Physikalischen Gesellschaft, R.6, B.47(2012), DS 26.4
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