Composition and microstructure of r.f. magnetron sputter-deposited Cr-Zr-O thin films
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Materialien – Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2012 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230086939 |
| HGF-Programm | 43.12.01 (POF II, LK 01) Tailored properties of nanomaterials |
| Erscheinungsvermerk | 76. Jahrestagung der DPG und DPG-Frühjahrstagung, Fachverband Dünne Schichten, Berlin, D, 25.-30. März 2012 Verhandlungen der Deutschen Physikalischen Gesellschaft, R.6, B.47(2012), DS 26.4 |