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Experimental results and direct simulation Monte Carlo modelling of a high-performance large-scale cryopump

Varoutis, S.; Day, C.; Luo, X.; Haas, H.; Sharipov, F.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Technische Physik (ITEP)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2012
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230087355
HGF-Programm 31.30.02; LK 01
Erscheinungsvermerk American Vacuum Society 59th Internat.Symp.and Exhibition, Tampa, Fla., October 28 - November 2, 2012
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