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Composition and microstructure of r.f. magnetron sputter-deposited Cr-Zr-O thin films

Spitz, S.; Stüber, M.; Leiste, H.; Ulrich, S.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Materialien – Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 2012
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230087876
HGF-Programm 43.12.01 (POF II, LK 01) Tailored properties of nanomaterials
Erscheinungsvermerk KIT PhD Symp.2012, Karlsruhe, 22.März 2012
Externe Relationen Abstract/Volltext
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