Synthesis and characterisation of reactively r.f.magnetron sputtered Cr-Zr-O thin films

Spitz, S.; Stueber, M.; Leiste, H.; Ulrich, S.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Angewandte Materialien – Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	2012
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 230088334
HGF-Programm	43.12.01 (POF II, LK 01) Tailored properties of nanomaterials
Erscheinungsvermerk	13th Internat.Conf.on Plasma Surface Engineering (PSE 2012), Garmisch-Partenkirchen, September 10-14, 2012