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Synthesis and characterisation of reactively r.f.magnetron sputtered Cr-Zr-O thin films

Spitz, S.; Stueber, M.; Leiste, H.; Ulrich, S.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Materialien - Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2012
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230088334
HGF-Programm 43.12.01; LK 01
Erscheinungsvermerk 13th Internat.Conf.on Plasma Surface Engineering (PSE 2012), Garmisch-Partenkirchen, September 10-14, 2012
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