Synthesis and characterisation of novel magnetron sputtered Cr-Zr-O thin films with corundum-type structure

Spitz, S.; Stüber, M.; Diechle, D.; Leiste, H.; Ulrich, S.; Seifert, H. J.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Angewandte Materialien – Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	2012
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 230088392
HGF-Programm	43.12.01 (POF II, LK 01) Tailored properties of nanomaterials
Erscheinungsvermerk	Biannual Internat.Conf.on Materials Science Engineering (MSE 2012), Darmstadt, September 25-27, 2012