Ferroelectric thin film fabrication by direct UV-lithography
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Materialien - Werkstoffprozesstechnik (IAM-WPT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2013 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230091241 |
| HGF-Programm | 43.12.01 (POF II, LK 01) Tailored properties of nanomaterials |
| Erscheinungsvermerk | 10th International Workshop on High Aspect Ratio Micro and Nano System Technology (HARMNST 2013), Berlin, April 21-24, 2013 Book of Abstracts |
| Externe Relationen | Abstract/Volltext |