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A combinatorial approach to the synthesis of Cr-Zr oxynitride thin films by reactive rf magnetron sputter deposition

Spitz, S.; Stüber, M.; Leiste, H.; Ulrich, S.; Seifert, H.J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Materialien - Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2013
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230091296
HGF-Programm 43.12.01; LK 01
Erscheinungsvermerk 40th Internat.Conf.on Metallurgical Coatings and Thin Films (ICMCTF), San Diego, Calif., April 29 - May 3, 2013
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