A combinatorial approach to the synthesis of Cr-Zr oxynitride thin films by reactive rf magnetron sputter deposition
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Materialien – Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2013 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230091296 |
| HGF-Programm | 43.12.01 (POF II, LK 01) Tailored properties of nanomaterials |
| Erscheinungsvermerk | 40th Internat.Conf.on Metallurgical Coatings and Thin Films (ICMCTF), San Diego, Calif., April 29 - May 3, 2013 |