From HARMST to HARMNST. Past, present and future of high aspect ratio technologies
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2013 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230091410 |
| HGF-Programm | 43.14.02 (POF II, LK 01) X-Ray-Optics |
| Erscheinungsvermerk | 10th International Workshop on High Aspect Ratio Micro and Nano System Technology (HARMNST 2013), Berlin, April 21-24, 2013 Book of Abstracts |