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LIGA-MEMS leveraged bending variable capacitors

Haluzan, D.T.; Achenbach, S.; Klymyshyn, D.M.; Börner, M.; Mohr, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2013
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230091412
HGF-Programm 43.13.01; LK 01
Erscheinungsvermerk 10th International Workshop on High Aspect Ratio Micro and Nano System Technology (HARMNST 2013), Berlin, April 21-24, 2013 Book of Abstracts
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