LIGA-MEMS leveraged bending variable capacitors

Haluzan, D. T.; Achenbach, S.; Klymyshyn, D. M.; Börner, M.; Mohr, J.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	2013
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 230091412
HGF-Programm	43.13.01 (POF II, LK 01) Structuring
Erscheinungsvermerk	10th International Workshop on High Aspect Ratio Micro and Nano System Technology (HARMNST 2013), Berlin, April 21-24, 2013 Book of Abstracts