LIGA2.X process for a cost-effective mass production of single polymeric LIGA micro parts

Heneka, J.; Guttmann, M.; Plewa, K.; Mohr, J.; Hanemann, T.; Saile, V.

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seit 10.09.2018

Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Angewandte Materialien - Werkstoffprozesstechnik (IAM-WPT) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	2013
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 230091413
HGF-Programm	43.16.01 (POF II, LK 02) KNMF laboratory for micro a.nanostruct.
Erscheinungsvermerk	10th International Workshop on High Aspect Ratio Micro and Nano System Technology (HARMNST 2013), Berlin, April 21-24, 2013 Book of Abstracts