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LIGA2.X process for a cost-effective mass production of single polymeric LIGA micro parts

Heneka, J.; Guttmann, M.; Plewa, K.; Mohr, J.; Hanemann, T.; Saile, V.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Institut für Angewandte Materialien - Werkstoffprozesstechnik (IAM-WPT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2013
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230091413
HGF-Programm 43.16.01 (POF II, LK 02)
Erscheinungsvermerk 10th International Workshop on High Aspect Ratio Micro and Nano System Technology (HARMNST 2013), Berlin, April 21-24, 2013 Book of Abstracts
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