LIGA2.X process for a cost-effective mass production of single polymeric LIGA micro parts
Heneka, J.; Guttmann, M.
; Plewa, K.; Mohr, J.; Hanemann, T.; Saile, V.
; Plewa, K.; Mohr, J.; Hanemann, T.; Saile, V.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Materialien - Werkstoffprozesstechnik (IAM-WPT) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2013 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230091413 |
| HGF-Programm | 43.16.01 (POF II, LK 02) KNMF laboratory for micro a.nanostruct. |
| Erscheinungsvermerk | 10th International Workshop on High Aspect Ratio Micro and Nano System Technology (HARMNST 2013), Berlin, April 21-24, 2013 Book of Abstracts |