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Monte Carlo simulation of a vapour diffusion pump

Luo, X.; Giegerich, T.; Day, C.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Technische Physik (ITEP)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2013
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230091516
HGF-Programm 31.40.09; LK 01
Erscheinungsvermerk 19th Internat.Vacuum Congress (IVC-19), Paris, F, September 9-13, 2013
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