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Replication processes for metal and ceramic micro parts

Piotter, V.; Honza, E.; Klein, A.; Mueller, T. ORCID iD icon; Plewa, K.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Materialien - Werkstoffprozesstechnik (IAM-WPT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 2013
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230091536
HGF-Programm 43.16.01 (POF II, LK 02) KNMF laboratory for micro a.nanostruct.
Erscheinungsvermerk 10th International Workshop on High Aspect Ratio Micro and Nano System Technology (HARMNST 2013), Berlin, April 21-24, 2013 Book of Abstracts
Externe Relationen Abstract/Volltext
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