Influence of composition and substrate temperature on microstructure and properties of magnetron sputtered Cr-Zr-O thin films

Spitz, S.; Stüber, M.; Leiste, H.; Ulrich, S.; Seifert, H. J.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Angewandte Materialien – Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	2013
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 230091623
HGF-Programm	43.12.01 (POF II, LK 01) Tailored properties of nanomaterials
Erscheinungsvermerk	Spring Meeting of the European Materials Research Society, Strasbourg, F, May 27-31, 2013