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Influence of composition and substrate temperature on microstructure and properties of magnetron sputtered Cr-Zr-O thin films

Spitz, S.; Stüber, M.; Leiste, H.; Ulrich, S.; Seifert, H.J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Materialien - Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2013
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230091623
HGF-Programm 43.12.01; LK 01
Erscheinungsvermerk Spring Meeting of the European Materials Research Society, Strasbourg, F, May 27-31, 2013
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