PVD synthesis of novel metastable solid solution oxide and oxinitride thin films

Stüber, M.; Leiste, H.; Ulrich, S.; Seifert, H. J.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Angewandte Materialien – Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	2013
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 230093991
HGF-Programm	43.12.01 (POF II, LK 01) Tailored properties of nanomaterials
Erscheinungsvermerk	International Conference on Processing and Manufacturing of Advanced Materials (THERMEC 2013), Las Vegas, Nev., December 2-6, 2013
Externe Relationen	Abstract/Volltext