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PVD synthesis of novel metastable solid solution oxide and oxinitride thin films

Stüber, M.; Leiste, H.; Ulrich, S.; Seifert, H.J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Materialien - Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2013
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230093991
HGF-Programm 43.12.01; LK 01
Erscheinungsvermerk International Conference on Processing and Manufacturing of Advanced Materials (THERMEC 2013), Las Vegas, Nev., December 2-6, 2013
URLs Abstract (PDF)
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