Fabrication of photoresist-based polymer Resonator antennas using ultra-thick SU-8 based dry films

Rashidian, A.; Aligodarz, M. T.; Klymyshyn, D. M.; Börner, M.; Shafai, L.; Mohr, J.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	2013
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 230094065
HGF-Programm	43.13.01 (POF II, LK 01) Structuring
Erscheinungsvermerk	IEEE International Symposium on Antennas and Propagation (AP-S 2013) and USNC-UTSI National Radio Science Meeting, Orlando, Fla., July 7-13, 2013