Ferromagnetic shape Memory alloy / Silicon bimorph actuators with sub-micrometer dimensions

Lay, C.; Aseguinolaza, I.; Chernenko, V.; Kohl, M.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	2013
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 230094067
HGF-Programm	43.12.03 (POF II, LK 01) Reliability of nanomaterials
Erscheinungsvermerk	39th International Conference on Micro and Nano Engineering (MNE 2013), London, GB, September 16-19, 2013