Ferromagnetic shape Memory alloy / Silicon bimorph actuators with sub-micrometer dimensions
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2013 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230094067 |
| HGF-Programm | 43.12.03 (POF II, LK 01) Reliability of nanomaterials |
| Erscheinungsvermerk | 39th International Conference on Micro and Nano Engineering (MNE 2013), London, GB, September 16-19, 2013 |