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Ferromagnetic shape Memory alloy / Silicon bimorph actuators with sub-micrometer dimensions

Lay, C.; Aseguinolaza, I.; Chernenko, V.; Kohl, M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2013
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230094067
HGF-Programm 43.12.03 (POF II, LK 01)
Erscheinungsvermerk 39th International Conference on Micro and Nano Engineering (MNE 2013), London, GB, September 16-19, 2013
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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