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Influence of composition and annealing temperature on microstructure and hardness of reactively sputtered Cr-Zr-O thin films

Spitz, S.; Stüber, M.; Leiste, H.; Ulrich, S.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Materialien - Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2014
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230096220
HGF-Programm 43.12.01 (POF II, LK 01)
Erscheinungsvermerk 7th Symposium on Functional Coatings and Surface Engineering (FCSE), Montreal, CDN, June 15-18, 2014
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