Influence of composition and annealing temperature on microstructure and hardness of reactively sputtered Cr-Zr-O thin films

Spitz, S.; Stüber, M.; Leiste, H.; Ulrich, S.

Seitenaufrufe: 17
seit 12.05.2018

Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Angewandte Materialien – Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	2014
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 230096220
HGF-Programm	43.12.01 (POF II, LK 01) Tailored properties of nanomaterials
Erscheinungsvermerk	7th Symposium on Functional Coatings and Surface Engineering (FCSE), Montreal, CDN, June 15-18, 2014