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Herstellung ferroelektrischer Dünnschichten mittels direkter UV-Lithografie

Benkler, M.; Hanemann, T.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Materialien - Werkstoffprozesstechnik (IAM-WPT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2014
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 230096984
HGF-Programm 43.12.01; LK 01
Erscheinungsvermerk ELMUG Technologiekonferenz 'elmug4future', Friedrichsroda, 1.-2.Juli 2014
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