Herstellung ferroelektrischer Dünnschichten mittels direkter UV-Lithografie
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Materialien - Werkstoffprozesstechnik (IAM-WPT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2014 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230096984 |
| HGF-Programm | 43.12.01 (POF II, LK 01) Tailored properties of nanomaterials |
| Erscheinungsvermerk | ELMUG Technologiekonferenz 'elmug4future', Friedrichsroda, 1.-2.Juli 2014 |