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Ferroelectric perovskite thin film fabrication by direct UV-lithography

Benkler, M.; Hanemann, T.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Materialien - Werkstoffprozesstechnik (IAM-WPT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2014
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230096985
HGF-Programm 43.12.01; LK 01
Erscheinungsvermerk 5th International Congress on Ceramics (ICC-5), Beijing, China, August 17-21, 2014
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