Impact of substrate bias variation on composition, microstructure and microhardness of r.f. magnetron sputtered Cr-V-O thin films
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Materialien – Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2014 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230097011 |
| HGF-Programm | 43.12.01 (POF II, LK 01) Tailored properties of nanomaterials |
| Erscheinungsvermerk | Biennial International Conference 'Materials Science Engineering (MSE 2014)', Darmstadt, September 23-25, 2014 |