| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2014 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230098195 |
| HGF-Programm | 43.14.04 (POF II, LK 01) Teratronics |
| Erscheinungsvermerk | 40th Micro and Nano Engineering Conference (MNE 2014), Lausanne, CH, September 22-26, 2014 |