Additive nano manufacturing utilized by reverse nanoimprint lithography processes

Fernandez, A.; Medina, J.; Benkel, C.; Guttmann, M.; Bilenberg, B.; Thamdrup, L. H.; Nielsen, T.; Torres, C. S.; Kehagias, N.

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seit 12.05.2018

Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	2014
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 230098196
HGF-Programm	43.13.01 (POF II, LK 01) Structuring
Erscheinungsvermerk	13th International Conference on Nanoimprint and Nanoprint Technology (NNT 2014), Kyoto, J, October 22-24, 2014